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第66部分（第3页）

显示屏上，代表光刻进度的进度条缓慢缩短，渐渐缩短成一个小方块，再缩短为一条线，最后消失殆尽。

屏幕上跳出一个选项：重启关机。

操作员选择关机，按照操作流程关闭氮气阀门、压缩空气、真空，稍等一阵，开仓取出光刻完成的操作盘，放进入显影设备中，浸泡在显影液中进行显影处理。这套浸泡显影、清洗等流程也采用了全自动操作，操作员也如同旁观的郭逸铭他们一样，只能紧盯着控制屏幕，而再也无须亲自动手控制。

董老毕竟是七十多人的老人了，长时间站立下体力有些不支。旁边的万洪年纪同样不轻了，高国皓好心地让他们坐下休息一会儿，但谁也不肯离去。两个老头子你搀着我、我扶着你，颤巍巍地站在那里，固执地要第一时间看到结果。

成功还是失败，他们都要第一时间得到确切消息！

这里面，也有着他们心血的结晶！

显影结束。

操作员用操作钳将操作盘取出，将仍带着湿润的操作盘放进烘焙机进行烘焙处理。又是一阵等待，直到显示屏综合监控数据显示出烘焙已结束，操作员打开烘焙机，用操作钳将冷却后的操作盘取出，将其放置到眼前的显微镜下，仔细观察单晶硅衬底上的电路显影结果。如果光刻、显影、清洗、烘焙过程中出现差错，这张单晶片将被废弃，不会转入下一流程。

他仔细地转动着镜头、调节焦距。

包括郭逸铭在内，虽然明知道穿戴着无尘工作服，呼吸不会对别人有所干扰，但所有的人都还是连大气都不敢出，目光灼热地看着操作员每一个细微的动作，焦急地等待他的检验结果。

这个结果，将是对他们这几个月辛勤工作的最佳检验。

老头子已经站不稳了，两人的面罩玻璃被他们呼出的热气给蒙花。郭逸铭实在看不下去了，硬要将两位老人拉出去，可他们却大发雷霆，坚决不肯离开。郭逸铭等人见他们态度如此坚决，也是极为无奈，只好让他们靠在几个年轻人身上，帮他们支撑摇摇欲坠的身躯。

仿佛永远也不能完成的检查工作终于结束。

操作员抬起头来，在无尘工作服的玻璃面罩下，是他闪闪发亮的、略带着一丝水汽的眼睛，一声沉闷的嘶吼透过面罩发出来，传到每个人耳朵里。

“显影效果极其出色，整片单晶硅衬底没有发现任何瑕疵！这是一片优质品！”

接下来，将是耗时漫长的化学刻蚀，通过沉积、参杂、离子注射等手段，生成电路、元器件。每一种部件的制造，都需要重复一遍上述环节，整个集成电路的制造将耗费数日的时间。所以真正的集成电路的制造都是采用流水线作业，而不会像这次一样，只用数片单晶硅进行少量试制。完整的集成电路制造，郭逸铭他们是不可能在今天内就看完整的。

但迈过了前面这个最重要的关卡，尤其是每一道工序都要重复运用的光刻机，表现如此出色，可以说，这次的试运行至此已经圆满成功。

他们对设备的改造，完美地达到了当初的设计要求！

听到操作员传出的那一声嘶吼，董美堂身躯忽然挺立，眼中亮光一闪，正要笑出声来，随即，瞬间又软了下去，就连身边的郭逸铭用力想要抱住他也抱不住。他整个人像泥一样瘫软，再也没有一丝的力气可以支撑身体。

但在他双眼紧闭的脸上，却是一幅极度满足的笑容，笑得非常灿烂和甜蜜。

我们，成功了！

………【第五十四章　第一枪响】………

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一张银光闪闪的单晶圆片放在显微镜托盘上，借着光线反射，可以看到单晶片上一个个比8分钱邮票还略小一点的长方形块状斑痕。

在显微镜下，这些瘢痕被放大，显出真容，纵横交错的密集电路和元器件出现在眼前。

郭逸铭慢慢地调节着焦距，将局部电路放大，一点一点地对试运行生产的芯片进行仔细检查。为了实际检验各流程的工艺水平，他们这次试运行特意根据工艺流程的步骤，试制了一大批芯片。每一个流程在制备完成之后，都留下一张半成品?