“成了吗?”周启问道。
“是的!”弗兰奇点头,然后调转了面前电脑的画面,对准了下面无尘车间中的一台机器。
“这就是5n光刻机了?”周启有些好奇的看着面前这台四四方方的设备,他这段时间主要在学代码,对光刻机也不了解,但外形还是认识的。
“是的!”弗兰奇点头:“刚刚系统已经自检完成,没有发现问题,已经可以流片了!”
旁边的乌索普有些忐忑,5n光刻机利用洪沙瓦底的渠道也买不到,从零开始造一台光刻机又太耗时间,于是只能买一台回来改造。
他们买的是一台14n的深紫外光刻机,也就是duv光刻机,虽然已经是过时的技术,但价格却一点不打折扣,实打实的56亿rb,换算成贝利就是56亿!
也就是说,面前这台不算太大的设备,就顶得上一个白胡子的头颅。
这是他们几个人组装出来的,这要是出了什么问题,把自己卖了都赔不起啊!
弗兰奇却是很自信,他们的技术上可能比不上asl,但他们有外挂,有泡泡果实绝对消除摩擦力,再加上王母在一旁指导,绝对没有问题!
“那就开始流片!”
“是!”
前期的准备,流片所需材料是全部准备好了的,就等这台光刻机了。
工人倒是没有,为了防尘防噪,整个生产过程都是全自动的,由王母来控制,完全没有问题。
对王母来说,控制个芯片生产也消耗不了多少计算力,它那个时代,主流芯片早换成生物芯片了,用她操控生产硅基芯片,就等于是拿五轴机床做菜刀,简直不要太简单。
当然了,受限于设备,就算是王母来控制,也要注意生产精度。
所以他们专门在工地停工这天流片,就是怕受干扰。
周启一声令下,生产线发出了一声微不可查的震动,随后便开始运作起来。
单晶硅棒先被切割成晶圆,切割好的晶圆被送入光刻机,再由光刻机将电路转印在晶圆上,整个过程就如同投影一般。
一部分硅原子层被深紫外光抹去,一部分在遮光罩的保护中被留下,最终在晶圆上留下数十亿肉眼不见的精微开关--晶体管。
第三步,离子注入。
利用硅半导体的性质,用高能电场将磷离子加速打入晶圆表面,磷离子会破坏晶圆表面的氧化硅结构,且在晶圆中的分布也不均匀,不过这两个问题可以通过加热来解决。
这个步骤的名称也很朴实,叫做退火。
虽然是无尘车间,但灰尘依然是避免不来的,所以退火之后便要用水将晶圆表面冲洗一遍,然后再将铜灌入刚刚蚀刻出来的电路凹槽中。
最后,将晶圆表面多出来的铜磨去,一枚蚀刻完电路的晶圆就诞生了!
因为是试生产,速度不敢拉到最大,目前他们这台光刻机每小时可以处理80片晶圆,每片12寸(300)晶圆可以切割650枚芯片。
产能就是每小时52万枚芯片。
光刻机不用放假,可以一天24小时工作,产能便是每天124万枚芯片!
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现在台积电一片12寸晶圆的代工价格是17000美元,而他们这个工厂一天可以加工1920片晶圆,就是3264万美元!
这还是因为他们这个机器还没全力开动,等全力开动的话,每小时加工200+晶圆不成问题,那一天就可以加工4800片。
总价值,八千万美金,56亿人民币!